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ATV真空回流爐的介紹
日期：2025-03-11 10:48
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摘要：
ATV真空回流爐，也叫真空焊接爐（真空共晶爐）。在真空的環(huán)境下對產(chǎn)品進行高質(zhì)量的焊接，在升溫或者降溫過程中通入還原性系統(tǒng)（N2、甲酸、N2H2、H2），用以保護產(chǎn)品和焊料不被氧化，同時將產(chǎn)品和焊料表面的氧化物反應(yīng)，使得焊接表面質(zhì)量提高，減小了焊接的空洞率。
真空回流爐包括以下幾個結(jié)構(gòu)：氣路系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)，真空系統(tǒng)、測量系統(tǒng)和**系統(tǒng)。
N2有三路：一路通到工藝腔體；一路作為氣冷通入冷卻管（和水冷一個管道）；一路通到真空泵gas ballast，作為提高真空泵壓縮比的功能。 H2有一路，通到腔體內(nèi)。H2/N2一路，通道腔體內(nèi)。
分為內(nèi)循環(huán)和外循環(huán) 內(nèi)循環(huán)：設(shè)備內(nèi)部有個水箱，內(nèi)裝有DI water，通過水泵將水箱里面水進行循環(huán)，用來冷卻加熱板、法蘭、plasma。外循環(huán)：客戶提供外部冷卻水用來冷卻水箱。
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